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2022
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半導(dǎo)體制造
半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)，除需要超凈的環(huán)境外，有些工序還必須在真空中進(jìn)行。比如很多半導(dǎo)體器件，如光碟機(jī)(CD、VCD和DVD)和光纖通信中用的半導(dǎo)體激光器，雷達(dá)或衛(wèi)星通信設(shè)備中的微波集成電路，甚至許多普通的微電子集成電路，都有相當(dāng)部分的制作工序是在真空容器中進(jìn)行的。真空程度越高，制作出來的半導(dǎo)體器件的性能也就越好。現(xiàn)在，很多高性能的半導(dǎo)體器件都是在超高真空環(huán)境中制作出來的。
半導(dǎo)體制造設(shè)備大量采用步進(jìn)電機(jī)、伺服電機(jī)以及精密機(jī)械傳動部件，以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的自動化和智能化，同時(shí)也要求電機(jī)和機(jī)械傳動部件能在高真空、高低溫環(huán)境長期穩(wěn)定工作，并具有低逸氣性能，不污染真空環(huán)境。
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